JIS B7430-1977 Optical Flats

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2009-3-11

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日本工棠规格JIS,B 7430-1977,UDC 531.717.82,才^力及7^、:/卜,Optical Flats,1 .遹用靶SB二②烷格平三玄测定面在透明^^^作三九,光波干涉:上马平面度测定:用,1/、马才7°于力及卜(以下,卜占1/、^。):01/、乙规定寸马。干涉他O测定檄O,部品占使用电GH:除<,2 . SIS 77 > bO@W,测定面讲片面内电②占画面②电内占G区别及^呼^^上^^,19区分寸马,表1,片面 画面,3 .等级 卜^性能;上加1级,2级及U<3级内三O:区分守马,玄相,0级G性能在参考占Lt示*r^,二;h4士规格G一部7??:玄1/、,4 .性能:7^iz卜G性能H:, 测定面G平面度(以下,平面度占1/、5。)表L, 容值H:表2,;上马,2,B 7430-1977 UDC 531.717.82,表2,单位Jim,等级平面度CD FF容值,1 0.05,2 0.1,3 0.2,0 (参考) 0.025,形状及寸法 卜G形状H:,内板状寸法《:,表3:上盲,单位mm,呼U: (普) 外径②FF容差厚衣(T),45 45 0,-0.7,9.11,60 60 12 .15,80 80,0,1.2,16 .20,100 100 21-25,130 130 26 .32,6 .材料及IX外假卜:用1/、马材料《:,内部irtTA在十分:除去L太透明玄高品^^力"^,久?石英力、^久又H:二;同等以上G品^在有守L 使用上差L支丸马服理,^^5,着,7 .平面度(D测定方法 卜O平面度H:,基型平面(I)在用1/、P光波干涉15杀在测定L,次O式力三求,fea (is参照),3,B 7430-1977 UDC 531.717.82,rf: 平面度(gm),a : 干涉15杀中心^隔(mm),b : 干涉 15^ tZ)曲 量(mm),A:使用*光G波是3m),"J 式中内£宿:,表4:示守周幅在除l/'ktSIS内;相岁盲最大值在用1/、马,表4,单位mm,呼U? 周53②幅,45,60 2,80,100,130,3,注(1)基型平面《大,平面度及^大岂^5/卜内平面度测定;支障内玄1/、^^在用!/、马,8 .横查 77 > bO^fX性能,形状,寸法,材料及外^^<^、乙行I/、,4“ 5.及规定:遹合,9 .裂品(D呼IX方 卜O呼^方H:,规格番号又^^格名称,槿^及t/等级;上马,材料:石英久在用宿:,末尾:IE号Q在付厅马,例:JIS B 7430 片面 45 1 级 Q,10 .表示 7^:7卜匕口士,面:裂造棠者名(又略号若L

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